附件1-三氟甲烷征求意见稿.rar   全国半导体设备和材料标委会气体分会

（2014）委字第08号

关于征集《电子工业用气体 三氟甲烷》国家标准征求意见稿修改意见的通知

各位专家、各位委员、气体行业各有关单位：                                                    

根据全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会2014年标准制修订工作进度的安排，现开始征集《电子工业用气体 硅烷》国家标准征求稿的修改意见。请认真阅读附件1中的征求意见稿、填写附件2中的修改意见表，并请于2014年10月17日前将该表发至标委会的公用邮箱：859649888@qq.com。若无意见返回，则视为同意。

本通知含2个附件：

1．《电子工业用气体 三氟甲烷》征求意见稿及其编制说明

2． 标准修改意见表

秘书处联系方式：

电话：（028）85964988

  联系人：周朋云

全国半导体设备和材料

                                                         标准化技术委员会气体分会

                                                                 2014年09月29日

附件1-三氟甲烷征求意见稿.rar