各位专家、各位委员、气体行业各有关单位：                                                          

根据全国半导体设备和材料标委会气体分会2015年标准制修订工作进度的安排，现开始征集《半导体制造用气体处理指南》、《LED行业用氨气处理指南》、《电子工业用气体 六氟乙烷》、《电子工业气体中金属含量的测定  电感耦合等离子体质谱法》等4项国家标准征求稿的修改意见。

请认真阅读附件1～附件4中的征求意见稿及编制说明，填写修改附件5中的标准修改意见表，并请于2015年10月7日前将该表反馈至标委会的公用邮箱：859649888@qq.com。

本通知含5个附件：

1、《半导体制造用气体处理指南》征求意见稿及其编制说明；

2、《LED行业用氨气处理指南》征求意见稿及其编制说明；

3、《电子工业用气体 六氟乙烷》征求意见稿及其编制说明；

4、《电子工业气体中金属含量的测定  电感耦合等离子体质谱法》征求意见稿及其编制说明；

5、标准修改意见表。

秘书处联系电话：（028）85964988

  联系人：周朋云

                                            全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会秘书处

          2015年 9月7日

201504-征集半导体制造用气体处理指南等国标征求意见的通知.rar