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关于成立全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会含氟电子气体标准制定工作组的批复
时间：2018年01月16日
全国半导体设备和材料标委会气体分会
（2018）委字第01号
关于成立全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会含氟电子气体标准制定工作组的批复
浙江省化工研究院有限公司：
你单位《关于申请成立全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会含氟电子气体标准制定工作组的请示》（浙化院【2017】61号）收悉。经研究，同意成立全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会含氟电子气体标准制定工作组，编号为SAC/TC203/SC1/WG1。
第一届全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会含氟电子气体标准制定工作组拟由9名委员组成，张建君任组长，廖恒易任副组长，史婉君任秘书长，工作组承担单位为浙江省化工研究院有限公司。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会含氟电子气体标准制定工作组负责含氟电子气体领域的标准的制修订工作，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会负责日常管理和业务指导。
附件：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会第一届含氟电子气体标准制定工作组委员名单。
全国半导体设备和材料标准化
技术委员会气体分会
2018年1月9日
附件： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会第一届含氟电子气体标准制定工作组委员（SAC/TC203/SC1/WG1）名单
|
序号 |
本会职务 |
姓名 |
工作单位 |
职务/ 职称 |
|
1 |
组长 |
张建君 |
浙江省化工研究院有限公司 |
院长/教授 |
|
2 |
副组长 |
廖恒易 |
广东华特气体股份有限公司 |
副总经理/ 工程师 |
|
3 |
秘书长 |
史婉君 |
浙江省化工研究院有限公司 |
主任/ 高工 |
|
4 |
委员 |
程秀兰 |
上海交通大学 |
常务副主任/研究员 |
|
5 |
委员 |
李军 |
浙江博瑞电子科技有限公司 |
市场总监 |
|
6 |
委员 |
李翔宇 |
中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
副主任/高工 |
|
7 |
委员 |
谈益强 |
浙江陶特容器科技股份有限公司 |
总经理/ 工程师 |
|
8 |
委员 |
闻永祥 |
杭州士兰集成电路有限公司 |
技术总监 |
|
9 |
委员 |
杨会娥 |
中化近代环保化工西安）有限公司 |
副总经理/教授 |
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