全国半导体设备和材料标委会气体分会

（2019）委字第01号

关于征集 2019 年制定国家标准起草单位的通知

各位委员、各有关单位：

根据国标委相关规定，秘书处现开始征集 2019年制定的《电子工业用二氯二氢硅》、《电子工业用四氯化硅》、《电子工业用气体 六氟丁二烯》、《电子工业用气体 氟甲烷》等 4项国家标准的起草单位，有参加意向的单位请填写附件 1、附件 2 中的表格，加盖公章后将 pdf 电子文件、word 电子文件请发至各秘书处邮箱。标准草案见附件 3。请有参加意向的单位于 2019 年 3 月 1 日前将附件 1、附件 2 的表格反馈至秘书处！

  秘书处联系方式：

电话：（028）85964988

E-mail： 859649888@qq.com

联系人：周朋云

本通知含 3 个附件

附件 1：标准起草单位基本信息表

附件 2：标准起草人基本信息表

附件 3：标准草案   

                                       全国半导体设备和材料标准化

                                             技术委员会气体分会

                                2019年1月28日

附件3-4-电子工业用气体氟甲烷  标准草案稿  20170701.doc   附件3-3-电子工业用气体六氟丁二烯  标准草案稿20170711.doc   附件3-2-电子工业用四氯化硅（草案）20170821.doc   附件3-1-电子工业用二氯二氢硅（草案）20170825.doc   附件2：起草人基本信息表.xls   附件1：标准起草单位基本信息表.xls