全国半导体设备和材料标委会气体分会

委秘字（2019）第04号

关于征集《电子工业用二氯硅烷》、《电子工业用四氯化硅》等两项国家标准征求意见稿修改意见的通知

各位专家、各位委员、气体行业各有关单位：                                                          

根据全国气体标准化技术委员会2018年标准制修订工作进度的安排，现开始征集《电子工业用二氯硅烷》、《 电子工业用四氯化硅》两项国家标准征求稿的修改意见。

请认真阅读附件1～附件4中的征求意见稿、编制说明，填写附件5～附件6中的标准修改意见表，并请于2019年9月25日前将该表反馈至标委会的公用邮箱。

本通知含6个附件：

1、《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿；

2、《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿编制说明；

3、《电子工业用四氯化硅》征求意见稿

4、《电子工业用四氯化硅》征求意见稿编制说明；

5、《电子工业用二氯硅烷》标准修改意见表；

6、《电子工业用四氯化硅》标准修改意见表。

秘书处联系方式：

电话：（028）85964988

  联系人：周朋云

E-mail：859649888@qq.com

全国半导体设备和材料标准化技术

委员气体分会秘书处

附件6-《电子工业用四氯化硅》征求意见稿意见表.doc   附件5-《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿意见表.doc   附件4-电子工业用四氯化硅征求意见稿编制说明20190727.doc   附件3-电子工业用四氯化硅征求意见稿20190727.doc   附件2-电子工业用二氯二氢硅征求意见编制说明20190727.doc   附件1-电子工业用二氯二氢硅征求意见稿20190727.doc