各位委员、各有关单位：

根据国标委发【2020】53号《国家标准化管理委员会关于下达2020年第四批推荐性国家标准计划的通知》，秘书处现开始征集 2021年制定的《电子特气 六氯乙硅烷》、《电子特气 一氧化氮》 2项国家标准的起草单位，标准草案见附件 2。请有参加意向的单位请填写附件 1中的表格，加盖公章后将 pdf 电子文件、电子表格文件于 2021 年 1 月 31日前发至秘书处邮箱。

  秘书处联系方式：

电话：（028）85964988

E-mail： 859649888@qq.com

联系人：周朋云

本通知含 2个附件

附件 1：标准起草基本信息表

附件 2：标准草案   

                                       全国半导体设备和材料标准化

                                             技术委员会气体分会

                                             2021年12月31日