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关于开展2022年度气体标准应用情况调查的通知
时间：2022年02月18日
各有关单位：
根据国家标准化管理委员会的相关规定以及提升标准质量的要求的需要，全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会（以下简称“电子气分会”）将开展下述3项国家标准（详见表1）应用情况的调查，请根据标准及本单位的实际情况填写附件1中的《标准应用情况调查表》，于2022年3月15日前将填写后的调查表的word文件、PDF文件（加盖公章后的扫描件）发至气标委秘书处邮箱：TC203SC1@163.com。
表1 标准明细表
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序号 |
标准名称 |
标准编号 |
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1 |
电子特气 三氟化硼 |
GB/T 14603-2009 |
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2 |
电子特气 砷化氢 |
GB/T 26250-2010 |
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3 |
电子特气 氧化亚氮 |
GB/T 14600-2009 |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
2022年01月25日
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2016-09-01